微量氧分析儀的校準通常為兩種。
1、        瓶裝標準氣校準：
分別采用零點氣和量程氣校準儀器的零點和量程，零點氣多采用高純氮，其氧含量小于0.5PPM，（測量偏差也就有這么大，或者超過，不建議采用）。微量氧的量程氣不能用鋼瓶盛裝，因為容易發生吸附效應或氧化反應，從而使氧含量發生變化，*好采用內涂層處理的鋁合金氣瓶盛裝，現用現配較好，有效期一年為限也可以，不宜**存放。
我們在現場，多采用單點量程校驗，其效果往往比帶零點校驗的校驗結果更好，這是因為所用零點氣不能有效保證造成的，并不是方法不好。現場在零位不能確切保證的情況下，建議放棄零點校驗。

2、        電解配氧法校準：
電解配氧法是配制氧量標準氣的一種簡易和常用的方法，有些分析儀有些配件裝置，可方便地對分析儀進行校準，這種y方法簡單、**并具有較高的準確度。